Самолетни двигатели Административно право Административно право на Беларус Алгебра Архитектура Безопасност на живота Въведение в професията „психолог“ Въведение в икономиката на културата Висша математика Геология Геоморфология Хидрология и хидрометрия Хидравлични системи и хидромашини История на Украйна Културология Културология Логика Маркетинг Машиностроене Медицинска психология Метали и заваръчни инструменти Метали и метали икономика Описателни геометрия Основи на икономически т Oria професионална безопасност Пожарна тактика процеси и структури на мисълта, Професионална психология Психология Психология на управлението на съвременната фундаментални и приложни изследвания в апаратура Социална психология социални и философски проблеми Социология Статистика теоретичните основи на компютъра автоматично управление теория теорията на вероятностите транспорт Закон Turoperator Наказателно право Наказателно-процесуалния управление модерно производство Физика физични явления Философски хладилни агрегати и екология Икономика История на икономиката Основи на икономиката Икономика на предприятията Икономическа история Икономическа теория Икономически анализ Развитие на икономиката на ЕС Спешни ситуации VKontakte Odnoklassniki My Mir Facebook LiveJournal Instagram
border=0

Примери за MEMS устройства за промишлена употреба

<== предишна статия |

Фигура A.1 - Жироскоп, акселерометър

Фигура В.1 - Преобразувател на абсолютно налягане

Таблица Б.1 Технически характеристики на датчика за абсолютно налягане

Обхват на измерените налягания, MPa 0.1

Захранващо напрежение

5 ± 0,1

Номинален изходен сигнал, mV

40 ... 130

Нелинейност на изходния сигнал,%

<0,2

Първоначалният дисбаланс на моста, mV

<± 3 Работен температурен диапазон, ° С

–50 ... + 100

Температурен коефициент на чувствителност,% / 10 ° С

по-малко от 0,15

Температурен дрейф от "нула",% / 10 ° С

по-малко от 0,2

Размери, мм 20 х 5 х 5

Фигура В.2 - Пиезорезистивна инерция
микросистема за измерване на малки ускорения

Таблица Б.2 Технически характеристики на инертна пиезорезистивна микросистема за измерване на малки ускорения

Обхват на измерване на ускоренията, g

2-10

Размери на кристалите на микросистемата, мм

8,0x2,5x0,44

Теглото на силициевата инерционна маса, mg

2

Характерните размери на силициевите лъчи, микрони

600x20x10

Чувствителност при захранващо напрежение 9 V, mV / g

1.9

Резонансната честота на микросистемата, Hz

1200

Работен честотен диапазон, Hz

от 0 до 400

Фигура В.3 - Микросистема с гореща тел за наблюдение на състоянието на газовата среда (стрелката вляво обозначава процесната въздушна кухина, а стрелката вдясно обозначава чувствителни резистивни елементи на тънки висящи диелектрични джъмпери с дебелина около 1 μm).

Таблица Б.3 Технически характеристики на горещата телена микросистема за наблюдение на състоянието на газовата среда

Захранващо напрежение

5V, 9V

Изходен сигнал

0 - 100 mV

Време за отговор

не повече от 1 s

Обхват на разходите за обучение

от 0,001 до 60 l / min

Консумирана мощност

не повече от 30 kW с мощност 5 V

Относителна чувствителност

не по-малко от 6 mV * mW -1 (l / min) -1

тегло

<2 g

Габаритни размери

35 х 15 х 10 мм

<== предишна статия |





Прочетете също:

Стойността на приемните полета

графен

MEMS дисплеи

Свойства на свръхпроводника

Сканиране на магнитни микроскопи на базата на свръхпроводящи квантови интерферометри (SQUID - микроскопия)

Устройство и принцип на работа на STM

Резонансни режими на полево взаимодействие с материята

Сканиращ SQUID микроскоп

Обща физиология на сетивните системи. Класификация на рецепторите. Адекватни рецептори. Механорецептори. Хеморецептори. Фоторецептори. Терморецепторите. Обща физиология на сетивните системи

Амперометричен анализатор

Явлението магнитен резонанс се използва за откриване и измерване на електрически и магнитни взаимодействия на електрони и ядра в макроскопични количества материя. Това явление се дължи на парамагнитната ориентация на електронните и ядрените токове навън.

Връщане към съдържанието: Физически явления

Преглеждания: 2022

11.45.9.189 © ailback.ru Той не е автор на публикуваните материали. Но предоставя възможност за безплатно използване. Има ли нарушение на авторски права? Пишете ни | Обратна връзка .