Авиационно инженерство Административно право Административно право Беларус Алгебра Архитектура Безопасност на живота Въведение в професията „психолог” Въведение в икономиката на културата Висша математика Геология Геоморфология Хидрология и хидрометрия Хидросистеми и хидравлични машини Културология Медицина Психология икономика дескриптивна геометрия Основи на икономически т Oria професионална безопасност Пожарна тактика процеси и структури на мисълта, Професионална психология Психология Психология на управлението на съвременната фундаментални и приложни изследвания в апаратура социалната психология социални и философски проблеми Социология Статистика теоретичните основи на компютъра автоматично управление теория на вероятностите транспорт Закон Turoperator Наказателно право Наказателно-процесуалния управление модерна производствена Физика Физични феномени Философски хладилни инсталации и екология Икономика История на икономиката Основи на икономиката Икономика на предприятията Икономическа история Икономическа теория Икономически анализ Развитие на икономиката на ЕС Спешни ситуации ВКонтакте Однокласници Моят свят Facebook LiveJournal Instagram
border=0

Примери за устройства, базирани на индустриални характеристики на MEMS

<== предишна статия |

Фигура А.1 - Гироскоп, акселерометър

Фигура Б.1 - Преобразувател на абсолютното налягане

Таблица Б.1 Технически характеристики на датчика за абсолютно налягане

Измерван диапазон на налягане, МРа 0.1

Захранване, V

5 ± 0.1

Номинален изход, mV

40 ... 130

Нелинейност на изходния сигнал,%

<0,2

Дисбаланс на моста, mV

<± 3 Работен температурен диапазон, ° С

–50… + 100

Температурен коефициент на чувствителност,% / 10 ° С

по-малко от 0.15

Температурен дрейф "нула",% / 10 ° С

по-малко от 0.2

Размери, mm 20 x 5 x 5

Фигура Б.2 - Пиезорезистивен инерционен
микро система за измерване на малки ускорения

Таблица Б.2 Технически характеристики на пиезорезистивната инерционна микросистема за измерване на малки ускорения.

Диапазон на измерване на ускорението, g

2-10

Размер на кристалите на микросистемата, мм

8,0x2,5x0,44

Тегло на силициевата инерционна маса, mg

2

Характерните размери на силиконовите греди, микрона

600x20x10

Чувствителност при захранващо напрежение 9 V, mV / g

1.9

Резонансна честота на микросистемата, Hz

1200

Работен честотен диапазон, Hz

от 0 до 400

Фигура Б.3 - Термоанемометрична микросистема за наблюдение на състоянието на газообразната среда (стрелката в ляво показва технологичната въздушна кухина, а стрелката отдясно показва чувствителни резистивни елементи върху тънко окачени диелектрични мостове с дебелина около 1 микрона).

Таблица Б.3 Технически характеристики на термо-анемометричната микросистема за наблюдение на състоянието на газообразната среда.

Захранване

5V, 9V

Изходен сигнал

0 - 100 mV

Време за реакция

не повече от 1 s

Диапазонът на проучените разходи

от 0.001 до 60 l / min

Консумация на енергия

не повече от 30 kW при 5 V захранване

Относителна чувствителност

не по-малко от 6 mV * mW -1 (l / min) -1

тегло

<2 g

Габаритни размери

35 x 15 x 10 mm

<== предишна статия |





Вижте също:

Амперометричен анализатор

Разбивка на Зенер. Полеви емисии

Използване на изкуствени невронни мрежи за получаване, предаване и обработка на измервателна информация

Класификация на рецепторите. Мономодални и полимодални рецептори. Ноцицептори (болкови рецептори). Exteroreceptors. Interoreceptors.

Електромеханична памет

Обща физиология на сензорните системи. Класификация на рецепторите. Подходящи рецептори. Механорецептори. Хеморецептори. Фоторецептори. Терморецепторите. Обща физиология на сензорните системи

Показва се MEMS

Сензорни сигнали от проприоцептори

Повърхностноактивни резонатори

Примери за създаване и обхват на микро- и нано-сензори

Рецепторни класификации Рецептори

Времевата характеристика на възприемането на действащи стимули

Зееманов ефект

Връщане към съдържанието: Физически явления

Видян: 1845

11.45.9.51 © ailback.ru не е автор на публикуваните материали. Но предоставя възможност за безплатно ползване. Има ли нарушение на авторските права? Пишете ни Обратна връзка .